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離子源清洗 NIE-3500A全自動離子束清洗系統(tǒng) 那諾-馬斯特

價格
電議

型號
NIE-3500A

品牌
美國 那諾-馬斯特

所在地
暫無

更新時間
2024-04-19 10:44:44

瀏覽次數(shù)


    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動上下載片,并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)勢。


    NIE-3500(A).png


    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

    • 低成本
    • 帶預(yù)真空鎖,自動上下載片
    • 離子束:高達2KV/10mA
    • 離子電流密度100-360uA/cm2
    • 離子束直徑:4",5",6"
    • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
    • 極限真空5x10-7Torr
    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
    • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
    • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)
    • 自動上下載片(NIE-3500)
    • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
    • 占地面積30"x30"


    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用:

    • 表面處理
    • 離子銑
    • 表面清洗
    • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕



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