CKD傳感器FSM2-KHS及其特點(diǎn)：

流量傳感器-控制器
氣體用小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)
型號(hào)FSM2-KHS
部分衍生系列銷(xiāo)售中止
是壓縮空氣、氮?dú)庥眯⌒土髁總鞲衅鳌］p量、高速響應(yīng)，*適合電子部件等的吸附確認(rèn)。
行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）
【小型、輕量】（FSM-X系列）
通過(guò)分離傳感頭實(shí)現(xiàn)了小型化。
實(shí)現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、*薄8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類(lèi)型。
【非線(xiàn)性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線(xiàn)性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。
【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實(shí)現(xiàn)了以往無(wú)法實(shí)現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計(jì)
【雙方向測(cè)量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進(jìn)行雙方向測(cè)量，*適合吸附確認(rèn)用途。

更多有關(guān)FSM2-KHS同系列產(chǎn)品的選型型號(hào)如下：
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小流量傳感器 Rapiflow FSM3-L200U1CH1B1N-BH
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FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-NVF200~） FSM2-NVF200-H063BN
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FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-NVF050~） FSM2-NVF050-S063B
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FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-NVF100~） FSM2-NVF100-S063B
FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-NAF201~） FSM2-NAF201-S083PKN-P80
FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-AVF501~） FSM2-AVF501-A151B
FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-NVR005~） FSM2-NVR005-H061B
FSM2系列小流量傳感器Rapiflow（FSM2-AVF100~） FSM2-AVF100-H06