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磁控濺射儀

價格
¥43,000.00

型號
KT-Z1650PVD

品牌
KT

所在地
廣東省 深圳市

更新時間
2021-08-05 23:12:07

瀏覽次數(shù)

    主要特點


    KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓電流反饋樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


    技術(shù)參數(shù)


    控制方式

    7寸人機界面手動/自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒,5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    *功率

    ≤1000 W

    *輸出電壓電流

    電壓≤1000 V,電流≤1 A

    極限真空

    機械泵≤5 Pa(5分鐘),分子泵≤5*10^-3 Pa

    濺射真空

    ≤10 Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體 Φ160 mm×170 mm

    樣品臺

    可旋轉(zhuǎn)Φ62 mm,(*可安裝Φ50 mm基底)

    樣品臺轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105 mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝測量范圍10E5 Pa1E-1 Pa)

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口,KF16放氣口,6mm卡套進氣口

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