北崎供應ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPSS3 在線氣體過濾器

2025/03/20 09:46:43

Wafergard® MAX 在線氣體過濾器
它為高純度氣體應用提供了*的顆粒去除性能。 Wafergard® MAX 在線氣體過濾器是業(yè)界*的高純度氣體應用過濾器。全氟聚合物濾芯適用于高純度氣體以及一般氮氣和 CDA 應用。
用于高純度應用的含氟聚合物濾芯
適用于高流速和低壓力波動的應用
與惰性和高反應性氣體（如臭氧）兼容
經(jīng)過預處理，可快速啟動（僅限銀色型）
Wafergard® MAX 在線氣體過濾器應用工藝設備氣體面板
VMB
氣缸柜低壓側
原料氣供應管線
技術規(guī)格
產(chǎn)品規(guī)格材料濾芯 PFA 載體 / PTFE 膜
住房低硫 316L 不銹鋼
內表面粗糙度 Bronze Plus 和 Silver Ra < 0.17 μm
He 泄漏箱 1 x 10-10 帕米3/秒
顆粒清潔度粒子 0.01 μm 或更大的顆粒為 0.03 pcs/L 或更低
排放氣體（銀型） H2O，THC 低于 10 ppb
粒子捕獲速率大于 0.0015 μm 的顆粒，99.9999999% @ 20°C，101kPa
使用條款 *工作壓力 1 MPa 以下（日本）
*允許正壓差 0.7 MPa
*允許反向壓差 0.25 MPa
*工作溫度 20°C
流量查看我們的性能數(shù)據(jù)
型號Wafergard® MAX 在線氣體過濾器型號型號接頭尺寸和類型長度
WGMXMBPRF2 入口 6.35 mm （1/4“） VCR® 公頭，出口 6.35 mm （1/4”） VCR® 母頭 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGMXMBSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGMXMPSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 6.35 毫米（1/4 英寸）對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 9.52 毫米（3/8 英寸）對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2“ 對焊管件 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公頭 127 毫米（5.00 英寸）

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