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原裝進口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR2 在線氣體過濾器
原裝進口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR2 在線氣體過濾器
原裝進口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR2 在線氣體過濾器
Wafergard® MAX 在線氣體過濾器
它為高純度氣體應用提供了*的顆粒去除性能。 Wafergard® MAX 在線氣體過濾器是業(yè)界*的高純度氣體應用過濾器。 全氟聚合物濾芯適用于高純度氣體以及一般氮氣和 CDA 應用。
用于高純度應用的含氟聚合物濾芯
適用于高流速和低壓力波動的應用
與惰性和高反應性氣體(如臭氧)兼容
經(jīng)過預處理,可快速啟動(僅限銀色型)
Wafergard® MAX 在線氣體過濾器應用工藝設備氣體面板
VMB
氣缸柜低壓側
原料氣供應管線
技術規(guī)格
產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 PFA 載體 / PTFE 膜
住房 低硫 316L 不銹鋼
內表面粗糙度 Bronze Plus 和 Silver Ra < 0.17 μm
He 泄漏箱 1 x 10-10 帕米3/秒
顆粒清潔度 粒子 0.01 μm 或更大的顆粒為 0.03 pcs/L 或更低
排放氣體(銀型) H2O,THC 低于 10 ppb
粒子捕獲速率 大于 0.0015 μm 的顆粒,99.9999999% @ 20°C,101kPa
使用條款 *工作壓力 1 MPa 以下(日本)
*允許正壓差 0.7 MPa
*允許反向壓差 0.25 MPa
*工作溫度 20°C
流量 查看我們的性能數(shù)據(jù)
型號Wafergard® MAX 在線氣體過濾器型號型號接頭尺寸和類型長度
WGMXMBPRF2 入口 6.35 mm (1/4“) VCR® 公頭,出口 6.35 mm (1/4”) VCR® 母頭 141.2 毫米(5.6 英寸)
WGMXMBRR2 6.35 毫米(1/4 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMBRR4 12.7 毫米(1/2 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMBSS2 兼容 6.35 mm (1/4“) Swagelok® 112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMBSS3 兼容 9.52 mm (3/8“) Swagelok® 117.9 毫米(4.64 英寸)
WGMXMBSS4 兼容 12.7 mm (1/2“) Swagelok® 118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMPRR2 6.35 毫米(1/4 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPRR4 12.7 毫米(1/2 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMPSS2 兼容 6.35 mm (1/4“) Swagelok® 112.7 毫米(4.44 英寸)
WGMXMPSS3 兼容 9.52 mm (3/8“) Swagelok® 117.9 毫米(4.64 英寸)
WGMXMPSS4 兼容 12.7 mm (1/2“) Swagelok® 118.7 毫米(4.67 英寸)
WGMXMSBW2 6.35 毫米(1/4 英寸)對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSBW3 9.52 毫米(3/8 英寸)對焊管 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSBW4 1/2“ 對焊管件 133.4 毫米(5.25 英寸)
WGMXMSRR2 6.35 毫米(1/4 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)
WGMXMSRR4 12.7 毫米(1/2 英寸)VCR® 兼容公頭 127 毫米(5.00 英寸)