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原裝進(jìn)口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
2025/03/13 08:57:13
原裝進(jìn)口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
原裝進(jìn)口EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
型號 F-REX
高利用率、高吞吐量、高生產(chǎn)率的 CMP 設(shè)備
干進(jìn)/干出
*的工藝性能
高吞吐量
正常運行時間長
多級化學(xué)清洗
拋光終點檢測監(jiān)視器(可選)
在線膜厚測量儀(可選)
功能多樣,設(shè)備配置靈活
兼容 SEMI-S2/CE 標(biāo)志
產(chǎn)品介紹
F-REX 型是一種安裝在潔凈室上的 CMP 系統(tǒng),可對晶圓表面進(jìn)行化學(xué)和機(jī)械拋光。 它具有經(jīng)過市場驗證的高可靠性和*的工藝性能,可以以多種方式進(jìn)行配置以滿足所需的規(guī)格。 雙模塊化設(shè)計,工藝腔室之間沒有相互污染。 即使一個模塊停止,也可以自動切換到與另一個模塊一起運行,并且在發(fā)生維護(hù)或故障時無需停止設(shè)備,從而實現(xiàn)高生產(chǎn)率。 此外,雙模塊系統(tǒng)可通過單個單元實現(xiàn)多流程處理。 我們不僅為大規(guī)模生產(chǎn)提供*設(shè)備配置,還為實驗開發(fā)應(yīng)用提供*設(shè)備配置。
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)