測(cè)量工業(yè)顯微鏡屬于幾何量計(jì)量器具，其計(jì)量需遵循*發(fā)布的強(qiáng)制性 / 性標(biāo)準(zhǔn)及計(jì)量 / 校準(zhǔn)規(guī)程，核心依據(jù)包括以下兩類：
這類標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)量工業(yè)顯微鏡的設(shè)計(jì)、制造、性能指標(biāo)及檢驗(yàn)方法，是產(chǎn)品生產(chǎn)和驗(yàn)收的基礎(chǔ)：
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GB/T 22056-2023《顯微鏡 光學(xué)和機(jī)械性能測(cè)試方法》
覆蓋顯微鏡的光學(xué)性能（如分辨率、放大率誤差、像差、照明均勻性）和機(jī)械性能（如載物臺(tái)移動(dòng)精度、調(diào)焦機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性）的測(cè)試方法，是判斷顯微鏡基礎(chǔ)性能是否達(dá)標(biāo)的核心依據(jù)。
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GB/T 19863-2021《顯微鏡 術(shù)語》
統(tǒng)一顯微鏡（含測(cè)量類）的術(shù)語定義（如 “測(cè)量精度”“工作距離”“視場(chǎng)直徑”），避免計(jì)量過程中因術(shù)語歧義導(dǎo)致的誤差。
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GB/T 32076-2015《工業(yè)測(cè)量顯微鏡 技術(shù)條件》
專門針對(duì) “工業(yè)測(cè)量用途” 的顯微鏡，明確其測(cè)量范圍、示值誤差、重復(fù)精度、環(huán)境適應(yīng)性（溫度、濕度、振動(dòng)）等關(guān)鍵指標(biāo)，例如規(guī)定 “測(cè)量范圍≤100mm 時(shí)，示值誤差應(yīng)≤±(3+L/100)μm”（L 為測(cè)量長(zhǎng)度，單位 mm）。
這類文件由*計(jì)量行政部門發(fā)布，是計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)對(duì)顯微鏡進(jìn)行 / 校準(zhǔn)的直接依據(jù)，確保測(cè)量結(jié)果的溯源性：
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JJG 561-2019《工具顯微鏡規(guī)程》
適用于 “以光學(xué)成像為原理，用于測(cè)量零件尺寸、角度、形狀的工具顯微鏡”（含工業(yè)測(cè)量顯微鏡），規(guī)定了項(xiàng)目（如放大率、示值誤差、十字線對(duì)準(zhǔn)誤差）、工具（如標(biāo)準(zhǔn)玻璃尺、標(biāo)準(zhǔn)角度塊）及合格判定標(biāo)準(zhǔn)。
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JJF 1937-2021《測(cè)量顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》
補(bǔ)充 JJG 561 的適用范圍，涵蓋更小型、型測(cè)量顯微鏡（如半導(dǎo)體行業(yè)用顯微測(cè)厚儀），明確校準(zhǔn)流程、不確定度評(píng)定方法，更側(cè)重 “非強(qiáng)制” 場(chǎng)景的校準(zhǔn)需求。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/thickness/
