特點(diǎn)

• 通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途

• 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

• 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

*1：到達(dá)壓力時(shí)
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時(shí)的*水蒸氣處理量
*4：Including a silencer

排氣速度曲線