EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過(guò)程中無(wú)需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無(wú)油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點(diǎn)，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

作為中等負(fù)荷工藝的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自 動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。 

干式真空泵通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體，無(wú)需液體密封或潤(rùn)滑。其工作原理主要依賴(lài)于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見(jiàn)的干式真空泵類(lèi)型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

主要特點(diǎn)

無(wú)油污染：干式真空泵在運(yùn)行過(guò)程中不使用油或其他液體介質(zhì)，避免了油蒸氣對(duì)工藝環(huán)境的污染，特別適合對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和制藥。

低維護(hù)成本：由于無(wú)需定期更換油液或處理廢油，干式真空泵的維護(hù)成本較低，且運(yùn)行更加可靠。

環(huán)保性能優(yōu)越：干式真空泵減少了油類(lèi)廢棄物的產(chǎn)生，符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì)環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求。

高效節(jié)能：干式真空泵通常采用*的設(shè)計(jì)和材料，具有較高的抽氣效率和能源利用率。

適應(yīng)性強(qiáng)：能夠處理含有粉塵、顆?；蚋g性氣體的介質(zhì)，適用范圍廣泛。