特征

• 大氣壓附近抽速可達80m3?^/?h，與傳統(tǒng)真空泵相比抽氣時間縮短約20%。
• 標配的消音器解決了干式真空泵特有的噪音問題。達到極限壓力時的噪音水平為61 dB(A)或更低，即使在運轉(zhuǎn)過程中也幾乎感覺不到。(*1)
• C型號標配的ECO-SHOCK技術(shù)是ULVAC獨有的節(jié)能技術(shù)。該技術(shù)可將極限壓力時的功耗降低至0.6kW以下。(*2)
• “LS型”無需使用軸封氣體。這降低了以氮氣或排氣為主的清潔工藝的運行成本。(*3)
• 如果您希望進一步提高抽速，我們建議將其與機械增壓泵組合使用。組合使用后，抽速可達到120至1200^{立方米/小時。}

（*1）對于 LS120A-C?
（*2）對于 C 規(guī)格?
（*3）對于 L 規(guī)格，也可以流通吹掃氣體。

規(guī)格