LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460C
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件,MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
心技術架構(gòu)
傳感系統(tǒng):
熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細管式或旁路式設計,溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)
科里奧利式:直接質(zhì)量測量,精度可達±0.1%讀數(shù)
控制系統(tǒng):
24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器
數(shù)字PID算法(響應時間<100ms)
支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議
閥體系統(tǒng):
壓電瓷閥(響應時間<10ms)
電磁比例閥(壽命>10?次循環(huán))
金屬密封閥座(耐壓10MPa)
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | F.S. | 馬克斯 FS | 密封 |
15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*滿量程 | 10單片機CM | 300 升 | 金 |
氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設計,可以增強氣體的流通,降低污染物影響,使設備具備高澄換性,保證更長的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商,以*的產(chǎn)品質(zhì)量和*的解決方案聞名。
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