北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 EAC
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 EAC
EAC 類型
由于具有固定磨粒和邊緣控制功能，因此具有高拋光和去除性能的坡口拋光設(shè)備
由于固定的磨粒，具有*的拋光和去除性能
設(shè)備表面的無(wú)接觸概念
坡口形狀輪廓控制功能
寬而靈活的拋光區(qū)域
兼容 SEMI-S2/CE 標(biāo)志
產(chǎn)品介紹
EAC 模型是一種通過(guò)拋光斜面部分（半導(dǎo)體晶片的端面）和晶片前后表面的邊緣部分來(lái)去除缺陷和不必要的薄膜的裝置。 固定的磨粒允許進(jìn)行物理拋光，而拋光目標(biāo)沒(méi)有選擇性。 此外，配方可控的拋光頭可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓端面形狀的高精度控制。
北崎8年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
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