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PDC200 PDC210 PDC510等離子清洗機(jī)

價(jià)格

電議

型號(hào)

PDC200 PDC210 PDC510

品牌

日本雅馬拓

所在地

暫無(wú)

更新時(shí)間

2019-03-27 10:20:18

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。

產(chǎn)品描述

PDC200/210/510等離子清洗機(jī)

高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。

用途

CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

去除有機(jī)膜和金屬氧化膜

印刷電路基板的干式清洗

界面活性處理

LED封裝

特征

DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）

RIE模式

均勻性高的電極構(gòu)造

操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器

規(guī)格

型號(hào)	PDC200	PDC210	PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）		RIE/DP
電極構(gòu)造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
控制·顯示	液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
電極尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	鋁
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標(biāo)配	油泵（約500L/分）標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	約100kg	約105kg	約180kg
電源	單相 AC100V 10A	三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，儀器儀表交易網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
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