價格
電議
型號
LR421-T
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
四川省 成都市
更新時間
2025-06-16 14:29:16
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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR421-T
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR421-T
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。
長處
除了低溫整平（型號：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封
結(jié)構(gòu)，它非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用軟件和計算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）
減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）
規(guī)范
| 型 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | ||
| *抽速 | 50 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 極限壓力 | 5.0 帕 | ||||||
| *入口壓力（入口壓力） | 氣壓 | ||||||
| *排氣口壓力（排氣壓力） | 1Pa ~ 大氣壓 | ||||||
| 進(jìn)氣口 （CE 規(guī)格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG100 系列 | ||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | VG50 系列 | |||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 5 | |||||
| 電力 *1 | 三個階段 | VAC （赫茲） | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | |||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個 | 200V 時為 6.9 | 200V 時為 11.2 | 200V 時為 18.9 | 200V 時為 20.8 | |
| *值 | 一個 | 200V 時為 7.3 | 200V 時為 11.8 | 200V 時為 20.6 | 200V 時為 48.5 | ||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | ||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 沒有 | 0~45 | |||
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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR421-T
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。