ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 RDA-501H

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 RDA-501H

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

長處

實現(xiàn)與干式和油動力旋轉(zhuǎn)真空泵相同的性能水平。

它可以在從大氣壓到到達的所有壓力區(qū)域運行。

耐水蒸氣。

無需冷卻水。

一個型號可支持單相和三相電源。

沒有滑動部件，使用壽命長。

用法說明

1吸入粉末、產(chǎn)品可能會損壞泵。請使用吸塵器。

2吸入爆炸性、易燃性、有毒、腐蝕性和有機溶劑氣體等有害氣體可能會因氣體本身、爆炸、著火等原因?qū)е卤霉收稀?

3該泵僅供室內(nèi)使用。請勿將產(chǎn)品安裝在會暴露在雨中或水中的地方，或安裝在室外。